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1、真空设备用于排除实验过程中大气对于样品纯净度的影响。
2. 实验操作人员进行操作过程中，切勿携带电子产品。
3、实验操作人员需佩戴真空设备专用操作手套进行操作，不能直接触碰真
空设备。
4、真空设备配件应在干燥箱内保存，并远离具有腐蚀性的化学气体或液体。
5、真空设备需定期进行擦拭，应选用无尘纸或无尘布配套酒精或丙酮进行
清洁。
6、实验室应保持一定干燥度，实验操作人员应每日检查实验室的湿度及温
度情况。
7、实验室应保持良好通风，以避免机械泵油气所造成的影响。
8、真空设备前级泵如使用油泵，应定期更换干燥剂及机油。
9、操作人员应关注真空设备所使用分子泵的温度，以免过热导致仪器寿命
缩短。
10、 操作人员应在分子泵转速降至安全线以下后，放入氮气或液氮。
11、 操作人员应密切关注高压离子泵电源接口损耗程度，以防止操作人员触
电，确保安全。
12、操作人员应在真空度达到1×10-8mbar 以上启动离子泵。
13、 实验人员进行操作时，应严格按照各真空设备操作步骤进行阀门开关，
以防止气压差所引起的倒抽现象。
14、 警钟响亮时切勿再进行实验，应立刻通知实验室负责人及维修人员检
查。
15、 如遇特殊情况，应立刻通知所有在场者迅速离开，并切断真空设备电源。